1.性能参数
ITEM # |
COATING |
M |
WD |
EFL |
NA |
TFS |
EA |
L |
SPOT SIZE |
XWJ-40X-UV |
UV |
40× |
1.5mm |
4.4mm |
0.6 |
1μm |
5.3mm |
43.5mm |
1μm |
注:有限远共轭
2.外形尺寸
3.成像质量测试报告
4.检测结果
4.1焦距测量
焦距测量的测试波长为绿光(540nm),该波长下的显微物镜焦距为5.6mm,实测焦距为5.3mm
4.3 透过率测量
陪镀片的剩余反射率曲线
-
利用陪镀片进行测量,陪镀片厚度:8mm;
-
结果:内透过率:99.6%;零件透过率:98.4%;单面透过率:99.485%
-
整体透过率为94%(193nm处)。
4.2像质检测
a) 显微物镜对目标(小孔)所成的像
b)能量集中度曲线
c) 点扩散函数
5. 实物照片